D 07-60質量流量制御器&流量計
D 07-60は熱式質量流量計であり、質量流量制御器は各種ガスの測定と制御に応用でき、測定のほかにガスの質量流量を精密に制御でき、質量流量計(MFM)はガスの質量流量を精密に測定できる。D 07-60製品は七星流量計が大流量を開発したシミュレーション製品で、最大2000 SLMに達する。
製品の詳細
特徴
•最大200 SLMの超大流量型
•ゴムシール、アナログ回路のMFC
•国際標準機械コネクタ
技術パラメータ
プロジェクト |
D07-60B |
D07-60BM |
D07-60G |
D07-60GM |
流量仕様 |
300,500,750,1000,1500,2000SLM |
300,500,750,1000,1500,2000SLM |
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せいど |
± 2% F.S. |
± 2% F.S. |
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線形 |
±1% F.S. |
±1% F.S. |
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くりかえしせいど |
±0.2%F.S. |
±0.2%F.S. |
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レスポンス時間 |
< 10 sec |
< 10 sec |
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作動差圧範囲 |
(0.25 ~ 0.5) MPa (≤1000SLM) |
<0.2 MPa |
(0.25 ~ 0.5) MPa (≤1000SLM) |
<0.2 MPa |
さいだいどうさあつりょく |
0.6MPa |
0.6MPa |
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たいあつ |
3 MPa |
3 MPa |
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動作環境温度 |
5~ 45 ℃ |
5~ 45 ℃ |
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にゅうりょくしんごう |
0~5.00 V(入力インピーダンス100 K以上) |
なし |
4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC |
なし |
しゅつりょくしんごう |
0 V ~ 5.00 V(出力電流≦3 mA) |
4 ~ 20 mAまたは1 ~ 5 VDC |
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バルブのタイプ |
常閉 |
なし |
常閉 |
なし |
電源装置 |
+15V 50 mA |
+15V 50 mA |
+24VDC 400 mA |
|
じゅうりょう |
6 kg |
5 kg |
6 kg |
5 kg |
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